В Томском государственном университете (ТГУ) открыли производство химических реагентов, жизненно важных для отечественной микроэлектроники. На базе химико-технологического центра начали выпускать чистый бромистый водород и тетраксис (диметиламино) титана (TDMAT). Это позволит полностью удовлетворить потребности российских компаний в этих соединениях.
Чистый бромистый водород: новый уровень производства
Важным является производство чистого бромистого водорода. Он применяется при очистке кремниевых пластин, которые составляют основу микрочипов. Ранее этот реагент импортировался из-за рубежа. Однако после прекращения поставок специалисты химической отрасли сосредоточились на разработке отечественной технологии производства. Исследования и разработки велись с 2023 по 2024 год под руководством Виктора Сачкова.
Роль TDMAT в микроэлектронике и других сферах
TDMAT также играет немалую роль в микроэлектронике. Он используется для нанесения покрытий из нитрида титана методом химического осаждения из газовой фазы. Помимо этого, соединение востребовано при создании оптических и композитных материалов, изотопов и конструкционных покрытий. Важно отметить, что процесс изготовления TDMAT был полностью адаптирован под использование отечественного оборудования и сырья. Это позволяет производить продукт, не уступающий зарубежным аналогам по качеству.
Промышленные испытания и успешный запуск
Проект прошел успешные промышленные испытания, и первые партии продукции уже отправлены заказчикам. Как подчеркнули в руководстве ТГУ, спрос на реагенты оказался значительно выше ожидаемого. Тем не менее, университет готов увеличить объемы производства при необходимости.
Образовательный аспект и подготовка специалистов
Особую значимость проекту придает его реализация на базе образовательного учреждения. Студенты ТГУ получают возможность участвовать в реальных производственных процессах. Это способствует подготовке высококвалифицированных специалистов с практическим опытом работы с передовыми технологиями. Декан химического факультета подчеркнул, что такой подход позволяет готовить кадры, которые могут оперативно внедрять инновационные решения.
Междисциплинарный подход и перспективы
Освоение нового производства стало возможным благодаря тесному сотрудничеству специалистов из различных областей науки и техники, включая микроэлектронику и химию. Промышленный цех расположен в инжиниринговом химико-технологическом центре ТГУ, оснащенном всем необходимым оборудованием для масштабного выпуска реагентов.
Технологическая независимость России
Запуск производства химических компонентов в Томске – важный шаг на пути к технологической независимости России в сфере микроэлектроники. Это подтверждает высокий потенциал отечественных разработок и готовность к преодолению любых вызовов в условиях импортозамещения.